目录
真空应用
相对论、量子力学与真空科学技术（一）——热烈祝贺我国EAST和HL-2M再获重大突破陆国柱;1-10
柔性电子器件疲劳特性的研究进展李建鹏;张驰;李建昌;11-25
分子层沉积纳米薄膜的现状和发展陈谦;杨丽珍;刘忠伟;张海宝;陈强;26-31
真空获得与设备
聚变堆第一壁材料溅射装置真空系统设计研究王俊儒;余耀伟;曹斌;庄会东;胡建生;32-36
O形橡胶圈真空密封性能有限元分析任琪琛;孙志和;王沛;胡居利;卢毛磊;黄倩;37-41
专用电子束熔炼炉真空抽气系统设计张志平;许忠政;张黎源;姜正鹤;42-45
大口径真空插板阀优化设计齐大伟;高俊旺;吴斌;王慧;吕德润;46-49
薄膜
中频磁控溅射制备氧化钨薄膜及电致变色性能研究魏梦瑶;王辉;韩文芳;王红莉;苏一凡;唐春梅;代明江;石倩;50-56
不同浓度的Si掺杂β-Ga2O3薄膜的制备及研究张晓霞;邓金祥;孔乐;李瑞东;杨子淑;张杰;57-61
等静压石墨表面SiC涂层的制备与性能表征吴忠举;白枭;成洋洋;周社柱;62-65
测量与控制
等离子体雾化用等离子体发生器动静态特性研究杨彤;尹政鑫;邱吉尔;杨胜源;张清波;余德平;66-71
等离子体接触器放电振荡的频谱分析研究冯杰;成荣;赵勇;王彦龙;王尚民;张宏;贾艳辉;72-76
基于硅基氮化硅波导的外腔激光器研究陈家荣;王东辰;彭麦菊;77-79
真空涂层设备SIS设计及应用游锦山;80-84
基于S7-1200和WinCC的坩埚冷却水循环监控系统成成;王洪强;李阳;张华标;85-88
纸质条码对燃料棒的氦检漏输出值影响及解决方法黄帆;李斌;刘轶群;曹晖;89-92
真空冶金与热工
磷化工副产物磷铁加钴真空制备三磷化钴的热力学李秋霞;普杰;荆碧;93-97
钛合金Ti6Al4V表面离子注入铜的阻燃性研究汪阳;张高会;汪凯;杨镕菲;李想;孙启轩;98-103
大功率真空电子束冷床熔炼炉拉锭机构振动仿真分析马强;孙足来;张哲魁;牟鑫;李建军;王秋博;104-109
真空技术应用系列讲座
第二十一讲 真空卷绕镀膜张以忱;110-112
信息
欢迎订阅2022年《真空》杂志113
中国真空学会2021年活动计划表114-115
第十五届国际真空科学与工程应用学术会议（VSEA-15）会议通知116