目录
薄膜
脉冲阴极弧等离子体及有关特性研究 武洪臣;杨丽媛;1-9
掺杂氧化铪基薄膜铁电性能的研究进展 乌李瑛;刘丹;付学成;程秀兰;10-20
亚纳米孔石墨烯复合薄膜新型标准漏孔制备及其渗氦性能研究 刘招贤;孟冬辉;任国华;张骁;韩琰;刘楚彦;孙立臣;闫荣鑫;21-26
不同温度下氮化铬薄膜的疏水性能研究 赵祯赟;陈定君;郭圆萌;杨皓;东帅;孙铁生;黄美东;27-33
PECVD法制备石墨烯过程中不同生长阶段H2的作用分析 黄光宏;李迪;李娜;甄真;王鑫;许振华;34-40
脉冲激光沉积ZnSe:Cox纳米晶薄膜的微结构及光学性质研究 李树锋;王丽;高东文;41-46
真空获得与设备
一种腰部为椭圆线的罗茨真空泵转子型线设计与分析 李正清;韩仙虎;蔡宇宏;杨建斌;李小金;刘筱文;王毅;47-51
等螺距螺杆真空泵内气体流动的数值模拟研究 何天一;岳向吉;张志军;巴德纯;冯晓荣;杨帆;52-57
特种合金生产过程中VIDP炉真空系统分析及优化应用 张万福;李强;李军;刘嘉学;王德洪;罗俊义;58-63
真空系统在模拟火星表面低气压环境的应用 刘中博;64-67
测量与控制
一种基于无转移PMMA和PI的渗透性标准漏孔的氦气渗透性能研究 方庆国;王宗林;张俊;王旭迪;68-73
高真空冷黑环境下大面阵黑体定标器控温应用研究 刘海静;董德胜;王晓占;李灿伦;冯蕾;季琨;靳兆峰;74-77
真空冶金与热工
一种电子束熔炼用供料、熔铸拖锭装置研制 闫超;张涛;贾子朝;成成;许文强;78-82
氢化脱氢工艺在锆-2合金粉末制取中的应用 车恩林;王振宏;苏宁;陈鼎;刘君;陈博龙;代玉博;83-86
真空技术应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术 张以忱;87-88
信息
《真空》杂志第三届优秀论文评选结果公告 89
《真空》创刊60周年专刊征稿通知 90
欢迎订阅2024年《真空》杂志 91
走进Busch普旭，共同探索真空技术新发展 92