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《真空》2024年03期

 
目录
真空获得与设备
干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势 张丕显;张以忱;战春鸣;晋伟达;1-8
基于MATLAB/GUI的真空泵抽速曲线预测计算 赵前玉;于振华;李恒霖;干蜀毅;张东庆;9-12
表面特性对棘齿型Knudsen泵气体分离特性影响的模拟研究 韩峰;张志军;张世伟;王晓伟;13-19
基于流导法的G-M制冷机低温泵抽速测试与分析 余彦飞;李晓刚;胡湘娥;陈进文;陈洁心;20-25
基于ANSYS的储氢气瓶快充温升流热固耦合模拟研究 杨刚;欧晨希;陈新辉;黄思;26-32
热氧老化效应对橡胶密封接触性能的影响 郭崇武;史纪军;孙立臣;齐飞飞;李文斌;33-39
基于Fluent的多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能研究 宋昕;郭建章;40-45
真空泵滑阀加工专用刨床设计 张辉;徐君;金建华;王鹏超;徐慧;张文宇;46-50
差压法测定NEG吸氢性能 王婧华;王蓝陵;林文豫;吴俊;曹青;王旭迪;51-56
薄膜
沉积参数对TiO2纳米薄膜的显微结构和光学性能的影响 纪建超;颜悦;哈恩华;57-62
CVD关键工艺参数对(Ni,Pt)Al涂层高温防护性能影响 刘玉琢;王鑫;李娜;甄真;许振华;63-69
无色聚酰亚胺薄膜二次表面镜的光学特性研究 李灿伦;倪俊;郭腾;韩玮;王飞;祁松松;李辉;范孝鹏;范秋林;70-73
GB/T 26332《光学和光子学 光学薄膜》新增内容解析 熊天农;高鹏;王瑞生;任少鹏;赵帅锋;阴晓俊;74-78
真空冶金与热工
真空电子束熔炼炉用坩埚冷却装置的抗震试验研究 成成;贾子朝;李菊;闫超;84-89
真空连铸中间包多场耦合对夹杂物去除影响研究进展 马宝弘;段海霞;杜雪峰;邵宇嵩;李振开;90-95
真空应用
140 GHz回旋管用金刚石输能窗研制 刘林;方有维;高察;王建;罗积润;100-104
真空技术在高温超导电动磁浮交通系统中的应用 胡浩;李凯;刘洪涛;邵晴;韩田;于淼;刘航;李昊宸;105-109
真空技术及应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术 张以忱;110-112
信息
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